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한국진공학회지

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Vol.13 No.2 (8건)

비증발형 게터소자 배기특성 평가시험

인상렬, 박미영, 정기석

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.13 No.2 2004 pp.47-53

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