간행물 정보
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- 제공처
- 한국과학기술정보연구원
- 발행기관
- 한국진공학회
- 수록기간
- 1992 ~ 2013
- 주제분류
- 자연과학 > 물리학
Vol.1 No.1 (28건)
텅스텐 선으로 만든 Porous plug의 conductance
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.1 No.1 1992 pp.11-15
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Beaming Effect를 고려한 Tube 연결부의 Conductance 계산
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.1 No.1 1992 pp.16-23
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.1 No.1 1992 pp.24-27
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.1 No.1 1992 pp.28-31
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.1 No.1 1992 pp.32-36
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.1 No.1 1992 pp.37-42
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RHEED 장치의 제작과 K, Cs/Si(111)계에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.1 No.1 1992 pp.43-49
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.1 No.1 1992 pp.50-59
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반도체 초격자의 Subband 에너지와 Envelope 함수
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.1 No.1 1992 pp.60-66
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.1 No.1 1992 pp.83-87
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O/W(110) 표면의 p($2{\times}1$) 구조의 임계지수 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.1 No.1 1992 pp.88-95
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Nuclear Microanalysis에 의한 텅스텐 표면의 산소 흡착조사
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.1 No.1 1992 pp.96-99
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Characterization of Surface Oxides in Gold Thin Films with V- and Ti- underlays by AES and XPS
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.1 No.1 1992 pp.100-105
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XPS와 SIMS에 의한 Co-Ni과 Au-Cu 합금표면 정량분석 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.1 No.1 1992 pp.106-114
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$CsX^+$ SNMS의 Matrix Effect 감소연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.1 No.1 1992 pp.115-120
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$CsX^+$(X=Al, Ga, As) 분자이온을 이용한 SIMS의 정량분석
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.1 No.1 1992 pp.121-125
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MBE에 의한 다양자 우물제작 및 특성연구(공명투과 다이오드의 제작과 전기적 특 성)
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.1 No.1 1992 pp.134-138
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$CHF_3/C_2F_6$ 플라즈마에 의한 실리콘 표면 잔류막의 특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.1 No.1 1992 pp.145-152
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PECVD of Blanket $TiSi_2$ on Oxide Patterned Wafers
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.1 No.1 1992 pp.153-161
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.1 No.1 1992 pp.162-167
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Ion Beam Mixing과 급속열처리 방법을 이용한 Ti-SALICIDE용 $TiSi_2$ 박막 개선에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.1 No.1 1992 pp.168-175
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.1 No.1 1992 pp.176-182
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텅스텐 실리사이드 상의 얇은 $SiO_2/Si_3N_4$ 막의 특성 평가
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.1 No.1 1992 pp.183-189
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Dichlorosilane Gas를 이용한 High Temperature Oxide Thin Film의 특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.1 No.1 1992 pp.190-197
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통계적 실험계획법을 이용한 SOG 평탄화 공정의 최적화
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.1 No.1 1992 pp.198-205
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SIMOX SOI 제조시 산소석출물의 거동과 전지적 특성에 미치는 영향
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.1 No.1 1992 pp.206-211
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.1 No.1 1992 pp.212-222
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