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한국진공학회지

간행물 정보

Vol.16 No.2 (12건)

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협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.

잔류기체 분석기 교정장치 개발

홍승수, 임인태, 김진태

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.16 No.2 2007 pp.91-98

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PEALD 장치 제작 및 Co박막 증착

이두형, 노승정

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.16 No.2 2007 pp.110-115

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