간행물 정보
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- 제공처
- 한국과학기술정보연구원
- 발행기관
- 한국진공학회
- 수록기간
- 1992 ~ 2013
- 주제분류
- 자연과학 > 물리학
Vol.5 No.3 (13건)
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.5 No.3 1996 pp.175-180
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.5 No.3 1996 pp.181-187
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.5 No.3 1996 pp.188-193
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.5 No.3 1996 pp.199-205
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저압 유기금속 화학증착법을 이용한 InP 기판에 격자 일치된 $In_{0.53}Ga_{0.47}As$ 에피층의 성장
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.5 No.3 1996 pp.206-212
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.5 No.3 1996 pp.213-217
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.5 No.3 1996 pp.218-222
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Remote PECVD로 저온성장된 $SiO_2$/InSb의 전기적 특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.5 No.3 1996 pp.223-228
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절연보호막 처리된 Al-1 % Si박막배선에서 D.C.와 Pulsed D.C. 조건하에서의 electromigration현상에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.5 No.3 1996 pp.229-238
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승온시 $Si_2H_6$ 가스 주입을 이용한 표면 $SiO_2$의 억제 및 비정질 Si의 고상 에피텍시에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.5 No.3 1996 pp.239-244
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ICBD 법에 의한 $ Y_2O_3$박막특성에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.5 No.3 1996 pp.245-250
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Fe[NiFe/Cu] 다층박막의 자기저항 효과에 대한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.5 No.3 1996 pp.258-262
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.5 No.3 1996 pp.263-267
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