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Vol.1 No.2 (9건)

Al 2024를 이용한 Conflat Flange Gasket의 특성

이철로, 박재홍, 홍승수, 임재영, 신용현, 정광화

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.1 No.2 1992 pp.237-243

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Photoferroelectric 반도체의 광학적 특성연구 II : (BiSI, BiSeI, BiSI : Co 및 BiSeI : Co 단결정의 광학적 특성에 관한 연구)

고재모, 윤상현, 김화택, 최성휴, 김형곤, 김창대, 권숙일

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.1 No.2 1992 pp.244-253

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강판 표면의 Temper Color층 분석

홍재화, 강정수, 정재인, 전인준, 이영백

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.1 No.2 1992 pp.259-268

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최적 FIB렌즈구조 설계를 위한 Simulator 개발

송현욱, 박화식, 황호정, 박선우, 김철주, 조광섭, 김태환, 서윤호, 강승언

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.1 No.2 1992 pp.269-276

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마이크로파 플라즈마 화학기상증착법(PECVD)과 저압 화학기상증착법(LPCVD)을 이 용한 실리콘 기판 위에서의 텅스텐 박막증착

김성훈, 송세안, 김성근

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.1 No.2 1992 pp.277-285

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Al, Ag 박막에서 Electromigration과 Ahesion에 관한 연구

김대일, 전진호, 박영래, 최재승, 김진영

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.1 No.2 1992 pp.286-290

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Al 박막 금속화의 신뢰성 향상에 관한 연구

전진호, 김진영

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.1 No.2 1992 pp.291-297

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질소이온 주입에 의한 Al의 재결정화 및 AlN의 형성에 관한 연구

조성진, 최점수

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.1 No.2 1992 pp.298-301

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Drypumping of Semiconductor Processes-Clean and Arduous Applications

Troup, A.P.

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.1 No.2 1992 pp.302-313

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