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한국진공학회지

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Vol.9 No.3 (15건)

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협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.

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협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.

실리콘산화막의 광루미니센스 변화에 관한 연구

이재희

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.9 No.3 2000 pp.216-220

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