간행물 정보
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- 제공처
- 한국과학기술정보연구원
- 발행기관
- 한국진공학회
- 수록기간
- 1992 ~ 2013
- 주제분류
- 자연과학 > 물리학
Vol.9 No.4 (19건)
NDRO FRAM 소자를 위한 $Pt/SrBi_2Ta_2O_9/ZrO_2/Si$ 구조의 특성에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.9 No.4 2000 pp.315-320
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
LPCVD로 증착한 텅스텐 박막의 증착 조건 제어에 의한 접착성 및 저항 특성 향상
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.9 No.4 2000 pp.321-327
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
ECR-PECVD 방법으로 제작된 DLC 박막의 기판 Bias 전압 효과
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.9 No.4 2000 pp.328-334
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
Co/Si 시스템에서 capping layer에 따른 코발트 실리사이드 박막의 형성에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.9 No.4 2000 pp.335-340
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
증착조건 및 열처리조건에 따른 $ZrO_2$박막의 미세구조와 전기적 특성에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.9 No.4 2000 pp.341-345
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Poly $Si_{1-x}Ge_x$ 박막의 산화 거동 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.9 No.4 2000 pp.346-352
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마그네트론 스퍼터링법으로 제조한 P형 $(Bi_{1-X}Sb_X)_2Te_3$ 박막의 결정성과 열전특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.9 No.4 2000 pp.353-359
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LSMCD 공정으로 제조한 SBT 박막의 Sr/Ta 몰비에 따른 강유전 특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.9 No.4 2000 pp.360-366
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대향타겟식 스퍼터법으로 증착된 ZnO/Glass 박막의 결정학적 특성에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.9 No.4 2000 pp.367-372
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MOCVD $Bi_4Ti_3O_{12}$ 박막의 실리콘 위에서의 증착기구 및 유기 금속원료의 펄스주입법에 의한 박막 특성 개선
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.9 No.4 2000 pp.373-378
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Pentacene을 이용한 diode의 제작 및 전기적 특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.9 No.4 2000 pp.379-381
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ECR-PECVD 방법으로 제조한 a-C:H 박막의 결합구조
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.9 No.4 2000 pp.382-388
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FeCoSiB 자성박막의 자기적 특성에 미치는 Co 및 열처리의 영향
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.9 No.4 2000 pp.389-393
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.9 No.4 2000 pp.394-399
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Trimethyl-indium 소스 고갈에 따른 InGaAsP 에피층의 특성 변화
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.9 No.4 2000 pp.400-405
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Hot-wall epitaxy 방법에 의한 HgCdTe 박막 성장
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.9 No.4 2000 pp.406-410
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DC 반응성 스퍼터링으로 상온에서 증착한 $Al_2O_3$ 박막의 유전특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.9 No.4 2000 pp.411-418
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정전 탐침을 이용한 유도 결합형 반응기에서 발생하는 산소 플라즈마의 특성연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.9 No.4 2000 pp.428-435
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
플라즈마 침질탄화처리시 처리시간이 화합물층의 특성에 미치는 영향
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.9 No.4 2000 pp.436-441
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.