간행물 정보
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- 제공처
- 한국과학기술정보연구원
- 발행기관
- 한국진공학회
- 수록기간
- 1992 ~ 2013
- 주제분류
- 자연과학 > 물리학
Vol.16 No.6 (15건)
ISO/TC 112 Vacuum Technology 국제표준 활동
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.16 No.6 2007 pp.397-404
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.16 No.6 2007 pp.405-413
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.16 No.6 2007 pp.414-423
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.16 No.6 2007 pp.424-432
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마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 Au 박막의 전기전도특성에 미치는 열처리 온도와 Ta 삽입층의 영향
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.16 No.6 2007 pp.433-438
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SiGe 집적회로 내의 다결정 SiGe 박막 저항기의 특성 분석
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.16 No.6 2007 pp.439-445
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TiO2 Interlayer의 상변화에 따른 PLZT 박막의 구조 및 전기적 특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.16 No.6 2007 pp.446-452
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RF magnetron sputtering 법으로 증착된 GZO와 ZnO 박막의 광학적 특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.16 No.6 2007 pp.453-457
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.16 No.6 2007 pp.458-462
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산소와 수소 플라즈마로 처리한 사파이어 기판 위에 성장된 ZnO 박막의 구조적.광학적 특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.16 No.6 2007 pp.463-467
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저압공정 중 발생하는 나노입자 실시간 측정장비에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.16 No.6 2007 pp.468-473
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Nanocrystalline Si formation inside SiNx nanostructures usingionized N2 gas bombardment
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.16 No.6 2007 pp.474-478
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수소 화물 기상 증착법을 이용한 InN 나노 알갱이 성장에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.16 No.6 2007 pp.479-482
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.16 No.6 2007 pp.483-488
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.16 No.6 2007 pp.489-495
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