간행물 정보
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- 제공처
- 한국과학기술정보연구원
- 발행기관
- 한국진공학회
- 수록기간
- 1992 ~ 2013
- 주제분류
- 자연과학 > 물리학
Vol.7 No.2 (12건)
계면금속(Sn)이 흡착된 Ge(111)표면에서의 Ge의 층상성장에 대한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.7 No.2 1998 pp.77-81
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
기계-화학적 연마 공정을 이용한 실리콘 전계방출 어레이의 제작
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.7 No.2 1998 pp.88-93
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
HFCVD 방법을 이용한 다이아몬드 박막 증착에서의 Bias 효과
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.7 No.2 1998 pp.94-103
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
성장정지효과에 의한 InGaAs/InP 양자우물구조의 Photoluminescence 특성 변화
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.7 No.2 1998 pp.104-111
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
XPS를 이용한 TiN/Cu의 Grain boundary diffusion 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.7 No.2 1998 pp.112-117
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
이온화클러스터빔 증착법에 의한 구리 박막의 반도체 접촉구 메움 향상에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.7 No.2 1998 pp.118-126
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
TixN Coating층의 색상에 미치는 첨가원소의 영향
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.7 No.2 1998 pp.127-134
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
XPS를 이용한 Cu/Polyimide의 계면에 관한 연구: 고온에서 증착한 Cu의 초기성장과 정(II)
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.7 No.2 1998 pp.135-140
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
$Si_3N_4$상에 PECVD법으로 형성한 텅스텐 박막의 특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.7 No.2 1998 pp.141-149
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
실리콘이온주입된 실리콘산화막의 광루미니센스에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.7 No.2 1998 pp.150-154
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I-Line과 DUV Resist에서 Poly-Si 플라즈마 식각시 미치는 개스의 영향
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.7 No.2 1998 pp.155-160
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$CH_4/H_2$유도결합 플라즈마를 이용한 InP의 건식 식각에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.7 No.2 1998 pp.161-168
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.