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Vol.13 No.1 (7건)

Ion-cut에 의한 SOI웨이퍼 제조에서의 양성자조사기구

우형주, 최한우, 김준곤, 지영용

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.13 No.1 2004 pp.1-8

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협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.

초고진공환경에서 제작된 perylene 박막 트랜지스터의 특성

박대식, 강성준, 김희중, 노명근, 황정남

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.13 No.1 2004 pp.9-13

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전자 조사된 $p^+-n^-$ 접합 다이오드의 결함 특성과 전기적 성질

엄태종, 강승모, 김현우, 조중열, 김계령, 이종무

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.13 No.1 2004 pp.14-21

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이차이온 질량분석기를 이용한 탄탈 박막내의 불순물 분석

임재원, 배준우

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.13 No.1 2004 pp.22-28

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엑시머 레이저 어닐링을 이용하여 플라스틱 기판에 형성한 다결정 실리콘 박막의 특성

조세현, 이인규, 김영훈, 문대규, 한정인

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.13 No.1 2004 pp.29-33

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고분자 광도파로용 핫엠보싱 마스터의 표면거칠기 최소화를 위한 열산화 영향

최춘기, 정명영

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.13 No.1 2004 pp.34-38

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UV-NIL(Ultraviolet-Nano-Imprinting-Lithography) 방법을 이용한 나노 패터닝기술

심영석, 정준호, 손현기, 신영재, 이응숙, 최성욱, 김재호

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.13 No.1 2004 pp.39-45

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