간행물 정보
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- 제공처
- 한국과학기술정보연구원
- 발행기관
- 한국진공학회
- 수록기간
- 1992 ~ 2013
- 주제분류
- 자연과학 > 물리학
Vol.6 No.1 (26건)
초고진공, 고진공, 대기압에서 SUS 316의 오염 구조와 오염 과정 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.1 1997 pp.1-8
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
UV-excited chlorine radical을 이용한 실리콘 웨이퍼상의 금속 오염물의 건식세정에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.1 1997 pp.9-19
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.1 1997 pp.20-27
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Preparation of Nanophase Titania Film by Plasma Spraying
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.1 1997 pp.23-26
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급속열처리에 의한 MOCVD-Cu/TiN/Si 구조의 후열처리 특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.1 1997 pp.28-35
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HgTe/Cdte superlattices grown on CdZnTe(211)B by MBE
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.1 1997 pp.34-42
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$Pb(Zr, Ti)O_3$강유전체 박막의 스퍼터링 증착과 후속열처리
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.1 1997 pp.36-43
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.1 1997 pp.43-46
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RF Magnetron Sputtering 법으로 제조된 AIN 박막에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.1 1997 pp.44-49
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Strain conservation in implantation -doped GeSi layers on Si(100)
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.1 1997 pp.47-52
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.1 1997 pp.50-60
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Chloride VPE법에 의한 InP 에피층 성장시 성장온도 및 $PCl_3/H_2$ 몰비에 따른 특성변화
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.1 1997 pp.61-68
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Measurement of Porosity by EPMA-EDS Image Processing
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.1 1997 pp.66-69
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$(Bi,;Sb)_2;(Te,;Se)_3$계 박막의 열전 특성 및 온도 센서로의 응용
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.1 1997 pp.69-76
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.1 1997 pp.77-84
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.1 1997 pp.80-88
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RFI ionized magnetron sputtering에서 radial uniformity 문제
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.1 1997 pp.85-90
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평면형 유도결합 플라즈마의 특성 및 선택적 산화막 식각 응용에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.1 1997 pp.91-96
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.1 1997 pp.96-109
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.1 1997 pp.97-102
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.1 1997 pp.110-114
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INVESTIGATION OF MULTI-ARC PLASMA PLATING FILM EQUIPMENT BULAT-6 AND ITS TECHNICAL CHARACTERISTICS
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.1 1997 pp.133-136
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The Magnetic Filtering Vacuum Arc Film Deposition System and Its Applications
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.1 1997 pp.137-140
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SUPPRESSION OF THE TETRAGONAL DISTORTION IN THIN Pb(Zr, Ti)$O_3$/MgO(100)
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.1 1997 pp.141-153
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Influence of LPPS Spraying Parameters on Deposition Efficiency of Zirconia Powder
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.1 1997 pp.160-165
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