간행물 정보
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- 제공처
- 한국과학기술정보연구원
- 발행기관
- 한국진공학회
- 수록기간
- 1992 ~ 2013
- 주제분류
- 자연과학 > 물리학
Vol.12 No.3 (7건)
용량형 격막식 게이지와 공진형 실리콘 게이지의 저진공 특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.12 No.3 2003 pp.151-156
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
초정밀 기압계 교정을 위한 새로운 압력계 교정장치 개발
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.12 No.3 2003 pp.157-161
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
Depth Profiling에서 Sputtering Rate의 영향
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.12 No.3 2003 pp.162-167
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.12 No.3 2003 pp.168-173
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
Ta 확산 방지막 특성에 미치는 기판 바이어스에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.12 No.3 2003 pp.174-181
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
다층 리지스트 및 화합물 반도체 기판 구조에서의 전자 빔 리소그래피 공정을 위한 몬테 카를로 시뮬레이션 모델 개발
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.12 No.3 2003 pp.182-192
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
금속원소 도핑에 따른 초고경도 나노구조 TiN 박막의 합성 및 형성 거동에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.12 No.3 2003 pp.193-199
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.