간행물 정보
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- 제공처
- 한국과학기술정보연구원
- 발행기관
- 한국진공학회
- 수록기간
- 1992 ~ 2013
- 주제분류
- 자연과학 > 물리학
Vol.11 No.1 (11건)
RF Magnetron Sputtering을 이용한 $Ba_{0.5}Sr_{0.5}TiO_3$박막 커패시터의 제작과 전기적 특성에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.11 No.1 2002 pp.1-7
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
FVA 증착법에 의해 합성된 ta-C 박막의 구조 및 물성 제어
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.11 No.1 2002 pp.8-15
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
$Si_2H_6$와 $H_2$ 가스를 이용한 LPCVD내에서의 선택적 Si 에피텍시 성장에 미치는 산소의 영향
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.11 No.1 2002 pp.16-21
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
Reactive sputtering 방법으로 증착된 W nitride 박막의 특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.11 No.1 2002 pp.22-27
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.11 No.1 2002 pp.28-34
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.11 No.1 2002 pp.35-42
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
AIGaAs/GaAs HBT 응용을 위한 Pd/Ge/Pd/Ti/Au 오믹 접촉
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.11 No.1 2002 pp.43-49
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
Si (111) 기판 위에 다양한 AIN 완충층을 이용한 GaN 성장과 특성 비교
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.11 No.1 2002 pp.50-58
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.11 No.1 2002 pp.59-67
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
운전압력 변화에 따른 마이크로파 공기 플라즈마의 특성연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.11 No.1 2002 pp.68-75
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
구형파로 구동되는 외관전극 형광램프의 휘도 및 효율 특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.11 No.1 2002 pp.76-80
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.