간행물 정보
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- 제공처
- 한국과학기술정보연구원
- 발행기관
- 한국진공학회
- 수록기간
- 1992 ~ 2013
- 주제분류
- 자연과학 > 물리학
Vol.19 No.2 (11건)
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.19 No.2 2010 pp.81-90
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
자외선 활성화 원자층 성장 기술을 이용한 상온에서 TiO2 박막의 제조
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.19 No.2 2010 pp.91-95
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.19 No.2 2010 pp.96-104
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.19 No.2 2010 pp.105-113
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공정가스와 RF 주파수에 따른 웨이퍼 표면 텍스쳐 처리 공정에서 저반사율에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.19 No.2 2010 pp.114-120
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인공위성용 홀 추력기의 중성기체에 대한 분자동력학 시뮬레이션
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.19 No.2 2010 pp.121-127
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.19 No.2 2010 pp.128-133
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In0.5(Ga1-xAlx)0.5P/GaAs 이중 이종접합 구조의 Contactless Electroreflectance에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.19 No.2 2010 pp.134-140
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.19 No.2 2010 pp.141-147
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TCP-CVD법을 활용한 공정변수에 따른 산화막의 제작
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.19 No.2 2010 pp.148-154
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상변화 메모리 소자 동작 특성에 미치는 열처리 온도 효과
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.19 No.2 2010 pp.155-160
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