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Vol.13 No.3 (7건)

Plasma 처리한 유기 절연층을 갖는 유기 박막 트랜지스터의 전기적 특성 연구

김연주, 박재훈, 강성인, 최종선

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.13 No.3 2004 pp.99-102

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협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.

Atomic Layer Epitaxy에 의해 제작된 ZnO 박막의 후열처리에 따른 발광특성 연구

신경철, 임종민, 강승모, 이종무

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.13 No.3 2004 pp.103-108

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협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.

RHP에서의 $Zn_3P_2$ 박막 및 RTA법에 의한 Zn 확산의 특성

우용득

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.13 No.3 2004 pp.109-113

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$SiH_2Cl_2와 NH_3$를 이용하여 원자층 증착법으로 형성된 실리콘 질화막의 특성

김운중, 한창희, 나사균, 이연승, 이원준

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.13 No.3 2004 pp.114-119

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트렌치 표면에서의 RIE 식각 손상 회복

이주욱, 김상기, 배윤규, 구진근

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.13 No.3 2004 pp.120-126

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솔더볼 조성에 의한 피로강도의 영향

김경수, 김진영

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.13 No.3 2004 pp.127-131

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Wire-Cylinder형 반응로에서의 코로나 방전 플라스마의 특성 연구

박승자, 박인호, 고욱희

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.13 No.3 2004 pp.132-138

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