간행물 정보
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- 제공처
- 한국과학기술정보연구원
- 발행기관
- 한국진공학회
- 수록기간
- 1992 ~ 2013
- 주제분류
- 자연과학 > 물리학
Vol.6 No.3 (17건)
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.3 1997 pp.177-180
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
비행시간형 직충돌 이온산란 분광법을 사용한 TiC(001)면에 성장된 MgO막의 구조해석
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.3 1997 pp.181-186
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XPS를 이용한 Cu/Polyimide 계면에 관한 연구 : 상온에서 증착한 Cu의 초기성장과정(I)
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.3 1997 pp.187-193
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재 프로그래밍 방법에 의한 MIM ANTIFUSE의 온저항 감소 효과
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.3 1997 pp.194-199
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이온보조반응법에 의한 Polyethylene(PE) 표면의 친수성 증가
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.3 1997 pp.200-205
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차세대 반도체 소자의 배선을 위한 구리박막의 reflow
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.3 1997 pp.206-212
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플라즈마 중합법에 의한 스티렌 박막의 분자 구조 및 분자량 제어에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.3 1997 pp.213-219
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.3 1997 pp.220-226
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ITO, AZO, SZO 박막의 수소 플라즈마에 대한 안정성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.3 1997 pp.227-234
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실리콘 기판 위에 UHV-ICB 증착법으로 적층 성장된 $Y_2O_3$박막의 BS/channeling 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.3 1997 pp.235-241
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Dry Etching에 의해 제작된 실리콘 미세 구조물
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.3 1997 pp.242-248
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Fe가 첨가된 반절연성 InP에서 Photoreflectance에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.3 1997 pp.249-254
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PVD 방법에 의한 TiN barrier metal 형성과 공정개발
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.3 1997 pp.255-262
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Photoreflectance 측정에 의한 $In_{0.1}Ga_{0.9}As/GaAs$ 계면의 특성 조사
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.3 1997 pp.263-266
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유도결합 $Cl_2$및 $HBr/Cl_2$ 플라즈마를 이용한 STI용 실리콘 Shallow trench 식각공정에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.3 1997 pp.267-274
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$Cl_2/CH_4/H_2$ 혼합기체를 이용한 InP 소재의 반응성 이온 에칭에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.3 1997 pp.282-286
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실리카 도파로(Silica Waveguide) 제작을 위한 Inductively Coupled Plasma에 의한 산화막 식각특성 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.3 1997 pp.287-292
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