간행물 정보
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- 제공처
- 한국과학기술정보연구원
- 발행기관
- 한국진공학회
- 수록기간
- 1992 ~ 2013
- 주제분류
- 자연과학 > 물리학
Vol.10 No.3 (15건)
운동에너지를 가지는 알루미늄 덩어리 충돌 및 증착에 관한 분자동력학 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.10 No.3 2001 pp.283-288
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
가연성 가스 인식을 위한 $SnO_2$계열의 박막 가스센서
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.10 No.3 2001 pp.289-297
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
RF/DC 방전을 이용한 고 진공용SUS 용기세정에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.10 No.3 2001 pp.298-302
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
터보분자펌프 및 복합분자펌프의 성능시험절차에 대한 고찰
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.10 No.3 2001 pp.303-311
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
$10^{-9}$ Pa대 용기를 위한 NEG 펌프 제작 및 진공성능 조사
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.10 No.3 2001 pp.312-320
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
ULSI 확산억제막으로 적합한 Ti-Si-N의 조성 범위에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.10 No.3 2001 pp.321-327
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
비휘발성 기억소자를 위한 NO/$N_2O$ 질화산화막과 재산화 질화산화막의 특성에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.10 No.3 2001 pp.328-334
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
RF 마그네트론 스퍼터링 법으로 사파이어 기판 위에 성장시킨 ZnO: Ga 박막의 RTA 처리에 따른 photoluminescence 특성변화
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.10 No.3 2001 pp.335-340
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
수평형 MOCVD에 의한 GaN 에피층 성장시 반응로내의 열 및 물질전달에 관한 수치해석 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.10 No.3 2001 pp.341-349
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.10 No.3 2001 pp.350-355
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다음극 직류전원플라즈마 화학 증착법에 의해 합성된 자유막 다이아몬드 웨이퍼의 특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.10 No.3 2001 pp.356-360
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화학적 기계 연마(CMP)에 의한 단결정 실리콘 층의 평탄 경면화에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.10 No.3 2001 pp.361-367
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
AIGaAs/GaAs HBT 응용을 위한 Pd/Si/Ti/Pt 오믹 접촉
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.10 No.3 2001 pp.368-373
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.10 No.3 2001 pp.374-379
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.10 No.3 2001 pp.380-386
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.