간행물 정보
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- 제공처
- 한국과학기술정보연구원
- 발행기관
- 한국진공학회
- 수록기간
- 1992 ~ 2013
- 주제분류
- 자연과학 > 물리학
Vol.10 No.2 (20건)
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.10 No.2 2001 pp.145-154
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.10 No.2 2001 pp.155-163
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.10 No.2 2001 pp.164-172
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.10 No.2 2001 pp.173-181
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HMDSO와 산소를 이용한 PECVD 증착 $SiO_xC_y$필름의 특성연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.10 No.2 2001 pp.182-188
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W-TiN 복층 전극 소자에서 TiN 박막 형성 조건에 따른 특성 분석
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.10 No.2 2001 pp.189-193
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Diamond-Like Carbon 박막의 광학적 특성에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.10 No.2 2001 pp.194-200
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.10 No.2 2001 pp.201-206
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.10 No.2 2001 pp.207-212
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분무열분해법에 의한 ZnO:In 박막의 구조와 전기적 특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.10 No.2 2001 pp.213-218
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이종접합 쌍극자 트랜지스터(HBT)의 에미터 접촉층으로 사용되는 InGaAs에 대한 Pd/Ge/Ti/Pt의 오믹 접촉 특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.10 No.2 2001 pp.219-224
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Oxygen flooding에 의해 왜곡된 SIMS depth profile의 보정
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.10 No.2 2001 pp.225-233
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Cu(Mg) alloy 금속배선에 의한 TiN 확산방지막의 특성개선
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.10 No.2 2001 pp.234-240
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이온 주입에 의한 PET막의 표면경도변화 및 광 투과도 변화
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.10 No.2 2001 pp.241-246
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.10 No.2 2001 pp.247-251
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분광타원법을 이용한 ZnSe 자연 산화막의 유전율 함수에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.10 No.2 2001 pp.252-256
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.10 No.2 2001 pp.257-261
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.10 No.2 2001 pp.262-266
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리모트 수소 플라즈마를 이용한 Si 웨이퍼 위의 Cr, Ni 및 Cu 불순물 제거
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.10 No.2 2001 pp.267-274
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반도체 제조용 사일렌 플라즈마 반응기에서의 입자 성장 모델
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.10 No.2 2001 pp.275-281
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