간행물 정보
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- 제공처
- 한국과학기술정보연구원
- 발행기관
- 한국진공학회
- 수록기간
- 1992 ~ 2013
- 주제분류
- 자연과학 > 물리학
Vol.14 No.1 (8건)
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.14 No.1 2005 pp.7-16
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
글로우방전 질량분석법을 이용한 구리 박막내의 미량불순물 분석: 음의 기판 바이어스에 의한 불순물원소의 농도변화
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.14 No.1 2005 pp.17-23
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
AMFC system에서의 비정질 실리콘 박막의 결정화 특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.14 No.1 2005 pp.24-28
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
실리콘-게르마늄 바이시모스 공정에서의 실리콘-게르마늄 이종접합 바이폴라 트랜지스터 열화 현상
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.14 No.1 2005 pp.29-34
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EPS(elementwise patterned stamp)활용 UV나노임프린트 공정에서의 웨이퍼 미소변형의 영향
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.14 No.1 2005 pp.35-39
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질화붕소 나노피포드에 기반한 나노분자 메모리 시스템에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.14 No.1 2005 pp.40-48
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[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.14 No.1 2005 pp.49-57
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