E-beam Lithography를 이용한 3차원 Air-bridge 구조의 제작 기법
한양대학교 이학기술연구소 이학기술연구지 제12집 2008.12 pp.9-13
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동중앙아시아경상학회 동중아시아경상학회 학술대회 한국-몽골 협력에 관한 이슈와 주변국 사례 활용 2011.07 pp.89-103
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Aerial image prediction for mask defect in extreme ultraviolet lithography
한양대학교 이학기술연구소 이학기술연구지 제6집 2003.12 pp.89-93
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전자빔 리소그래피에서의 레지스트 내부 에너지 분포에 대한 전산모사 프로그램의 제작
한양대학교 이학기술연구소 이학기술연구지 제10집 2007.12 pp.7-10
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복합제품시스템 기업의 개방형 혁신 : 반도체 노광장비 기업 ASML 사례를 중심으로
한국기업경영학회 기업경영연구 제29권 제5호 통권 제105호 2022.10 pp.121-151
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Rigorous coupled-wave analysis를 이용한 극자외선 리소그래피에서 그림자 효과를 줄이기 위한 마스크 변형
한양대학교 이학기술연구소 이학기술연구지 제8집 2005.12 pp.43-47
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