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E-beam Lithography를 이용한 3차원 Air-bridge 구조의 제작 기법

원문정보

Fabircation Method of 3-Dimensional Air-bridge Structure using E-beam Lithography

박준우, 정희준

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목차

요지
 Abstract
 1. 서론
 2. 본론
  2.1 E-Beam Lithography
  2.2. Multi-layer system
  2.3. Making process
 3. 결론
 Reference

저자정보

  • 박준우 Joonwoo Park. 한양대학교 응용물리학 전공
  • 정희준 Heejun Jeong. 한양대학교 응용물리학 전공

참고문헌

자료제공 : 네이버학술정보

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