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전자빔 리소그래피에서의 레지스트 내부 에너지 분포에 대한 전산모사 프로그램의 제작

원문정보

Simulation of Energy Profile in Resist for Electron Beam Lithography

정인구, 정희준

한양대학교 이학기술연구소 이학기술연구지 제10집 2007.12 pp.7-10
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목차

요지
 Abstract
 1. 서론
 2. 이론
 3. 결과
 4. 결론
 Reference

키워드

저자정보

  • 정인구 Inkoo Jung. 한양대학교 응용물리학과
  • 정희준 Heejun Jeong. 한양대학교 응용물리학과

참고문헌

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