ECR 플라즈마 기상화학 증착법에 의해 증착된 TiN 박막의 비저항, 피복성 및 확산 방지 특성에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1996 p.78
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
Ba$^{0.7}Sr^{0.3}TiO^{3}$ 박막 커패시퍼의 마이코로파 측정
[Kisti 연계] 대한전자공학회 電子工學會論文誌. Jounnal of the Korea institute of telematics and electronics. A. A Vol.a33 No.2 1996 pp.114-121
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
BPSG 상에 화학증착된 구리박막의 후열처리에 의한 특성변화
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.6 No.12 1996 pp.1233-1241
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
ECR CVD 방법에 의한 Fluorinated Silicon Oxide의 증착특성 연구
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1996 p.46
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
$SF_6$ 가스를 이용하여 remote PECVD 법에 의해 증착된 저유전율 SiOF 박막의 특성연구
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1995 pp.93-94
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
Helicon Wave Plasma CVD 방법에 의한 SiOF 박막형성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1995 p.84
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
Cu(II) Hexafluoroacetylacetonate 프리커서에 의한 구리 화학증착의 열역학적 평형조성 해석
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.5 No.6 1995 pp.657-666
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
MBE와 SPE 방법으로 Si 기판위에 성장된 SiGe에피층의 미세구조 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1995 p.30
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
Two-step 고온 스퍼터에 의한 알루미늄 증착 특성 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1995 pp.82-83
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료 Vol.8 No.5 1995 pp.648-657
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
고 종횡비의 미세 채널 패턴에서의 습식 식각 특성 분석
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.5 No.2 1995 pp.208-214
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
TRXRF에 의한 CMP 및 세척 공정 후의 표면오염분석
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1995 p.23
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
화학.기계적 연마를 이용한 다층배선 공정에서의 절연막 평탄화
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1995 p.33
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
MBE에 의해 성장된 SiGe/Si의 DCXRD와 TEM을 이용한 구조분석 연구
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1994 p.130
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
고상결정화 방법으로 형성된 다결정 실리콘 박막의 구조 연구
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1994 p.33
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
ECR-PECVD와 RF-PECVD법에 의해 증착된 TiN박막의 특성 비교
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1994 p.46
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
TRXRF를 사용한 반도체 공정 중 금속 오염 발생 및 제거 특성 분석
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1994 p.59
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
TIBA 와 DMEAA로 증착된 Al 박막의 증착특성 비교
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1994 p.188
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
실리콘 산호막 위에 적층된 다결정실리콘층의 미시구조에 대한 TEM 분석
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1992 pp.144-145
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
0개의 논문이 장바구니에 담겼습니다.
- 구매 불가 논문
-