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트렌치 표면에서의 RIE 식각 손상 회복

이주욱, 김상기, 배윤규, 구진근

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.13 No.3 2004 pp.120-126

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파워 MOSFET를 이용한 전력집적로기술

박일용, 노태문, 구진근

[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료 Vol.15 No.3 2002 pp.25-34

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