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플라즈마 표면 처리에 따른 AZO 박막의 특성 변화

우종창, 김관하

[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.32 No.2 2019 pp.147-150

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Cl2/Ar 플라즈마를 이용한 Al2O3 박막의 식각

양설, 엄두승, 김관하, 송상헌, 김창일

[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.22 No.12 2009 pp.1005-1008

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