한국ITS학회 한국ITS학회 학술대회 환상의 섬 제주도 가즈아~ 5G시대의 교통서비스 변화 2019.04 pp.823-828
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표면 가공형 캐비티 압력센서를 이용하여 비전도성 물질용 패키지 기술에 전기적 제어방식 연구
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.33 No.5 2020 pp.350-354
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.32 No.2 2019 pp.147-150
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고밀도 플라즈마를 이용한 SnO<SUB>2 박막의 건식 식각 특성
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.26 No.11 2013 pp.826-830
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BCl<SUB>3/Ar 유도결합 플라즈마 안에 CH<SUB>4 가스 첨가에 따른 건식 식각된 TaN 박막 표면의 연구
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.26 No.5 2013 pp.335-340
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유도 결합 플라즈마를 이용한 TaN 박막의 건식 식각 특성
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.26 No.1 2013 pp.1-5
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BCl<SUB>3/He 유도결합 플라즈마를 이용한 TiN 박막의 식각 특성
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.25 No.9 2012 pp.681-685
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He/BCl<SUB>3/Cl<SUB>2유도결합 플라즈마를 이용한 TiN 박막의 식각 특성
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.24 No.9 2011 pp.718-722
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유도결합플라즈마를 이용한 O<SUB>2/BCl<SUB>3/Ar가스에 따른 Indium Tin Oxide 박막의 식각 특성 연구
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.23 No.10 2010 pp.752-758
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유도결합 플라즈마를 이용하여 식각된 ZnO 박막 표면연구
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2010 p.384
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Dry Etching Characteristics of $HfAlO_3$ Thin Films using Inductively Coupled Plasma
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2010 p.382
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Cl<SUB>2/HBr/CF<SUB>4 반응성 이온 실리콘 식각 후 감광막 마스크 제거
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.23 No.5 2010 pp.353-357
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Cl<SUB>2/BCl<SUB>3/Ar 플라즈마에서 반응성 이온들에 의해 식각된 ZnO 박막 표면 연구
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.23 No.10 2010 pp.747-751
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2010 p.174
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O<SUB>2/BCl<SUB>3/Ar 플라즈마를 이용한 HfAlO<SUB>3 박막의 식각특성 연구
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.23 No.12 2010 pp.924-928
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MIM 커패시터의 Metal 게이트 전극을 위한 TiN 박막의 건식 식각 연구
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회 학술대회논문집 2009 pp.219-220
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$BCl_3$/Ar 플라즈마에 따른 $TiO_2$ 박막의 식각 특성
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회 학술대회논문집 2009 pp.221-222
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유도결합 플라즈마를 이용한 $HfAlO_3$ 박막의 식각특성 연구
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2009 p.73
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$Cl_{2}/BCl_{3}$/Ar 플라즈마에 의해 식각된 ZnO 박막 표면의 연구
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회 학술대회논문집 2009 pp.264-265
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[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2009 p.209
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