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MEMS 압력센서의 기술 및 산업동향

제창한, 최창억, 이성규, 양우석

[Kisti 연계] 한국전자통신연구원 전자통신동향분석 Vol.30 No.6 2015 pp.21-30

이온 주입과 기판 온도 효과에 의한 Al-1%Si 박막의 Hillock 형성 특성

최창억, 이용봉, 김정호

[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.27 No.1 2014 pp.8-13

BCl<SUB>3/Ar 유도결합 플라즈마 안에 CH<SUB>4 가스 첨가에 따른 건식 식각된 TaN 박막 표면의 연구

우종창, 최창억, 양우석, 주영희, 강필승, 전윤수, 김창일

[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.26 No.5 2013 pp.335-340

스마트 빌덩용 센서 기술 현황 및 전망

박강호, 최낙진, 양우석, 이홍열, 이상균, 최창억, 김종대

[Kisti 연계] 한국전자통신연구원 전자통신동향분석 Vol.24 No.6 2009 pp.1-10

비정질 실리콘 기반의 비냉각형 16x16 적외선 초점면배열의 개발

전상훈, 조성목, 양우석, 류호준, 양기동, 유병곤, 최창억

[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.18 No.4 2009 pp.301-306

플라즈마 ALD법에 의해 제조된 마이크로볼로미터용 바나듐 산화막의 제작 및 특성

윤형선, 정순원, 정상현, 김광호, 최창억, 유병곤

[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 Vol.21 No.2 2008 pp.156-161

Infrared Focal Plane Array 용 MEMS 구조체 개발

조성목, 양우석, 류호준, 전상훈, 유병곤, 최창억

[Kisti 연계] 대한전기학회 電氣學會論文誌 Vol.56 No.8 2007 pp.1461-1465

개인 휴대 단말기 (PDA)를 기반으로 한 휴대용 E-Nose의 개발

양윤석, 김용신, 하승철, 김용준, 조성목, 표현봉, 최창억

[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.14 No.2 2005 pp.69-77

Latch-up 특성을 갖는 평면형의 열구동 마이크로 액츄에이터

이종현, 권호남, 전진철, 이선규, 이명래, 장원익, 최창억, 김윤태

[Kisti 연계] 한국정밀공학회 한국정밀공학회 학술대회논문집 2001 pp.865-868

마이크로 공진 구조체 제작을 위한 다층 폴리실리콘의 스트레스 특성

최창억, 이창승, 장원익, 홍윤식, 이종현, 손병기

[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.8 No.1 1999 pp.53-62

무수 불화수소와 메탄올의 기상식각에 의한 실리콘 표면 미세 가공

장원익, 최창억, 이창승, 홍윤식, 이종현, 백종태, 김보우

[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.7 No.1 1998 pp.73-82