고압 적용용 초소형 감압기 설계를 위한 유동 해석 및 최적 설계
[Kisti 연계] 대한기계학회 대한기계학회논문집B Vol.41 No.8 2017 pp.497-503
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레이저보조가공에서 열원과 공구 사이의 거리선정을 위한 해석적 연구
[Kisti 연계] 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 Vol.32 No.8 2015 pp.699-704
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[Kisti 연계] 한국정밀공학회 한국정밀공학회지 Vol.32 No.12 2015 pp.1023-1029
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[Kisti 연계] 유공압건설기계학회 유공압건설기계학회지 Vol.11 No.1 2014 pp.54-58
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급속히 악화되는 임상경과를 보인 비특이성 간질성 폐렴 1례
[Kisti 연계] 대한결핵및호흡기학회 Tuberculosis and respiratory diseases Vol.51 No.1 2001 pp.59-64
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DMEAA를 사용해 CVD법으로 증착한 알루미늄 박막의 증착속도에 관한 수소 효과
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.8 No.2 1998 pp.131-134
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C$_4$F$_8$/H$_2$ helicon were 플라즈마를 이용한 contact 산화막 식각 공정시 과식화된 실리콘 표면의 잔류막과 손상층 형성 및 이의 제거에 관항 연구
[Kisti 연계] 한국표면공학회 한국표면공학회지 Vol.31 No.2 1998 pp.117-126
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무수 불화수소와 메탄올의 기상식각에 의한 실리콘 표면 미세 가공
[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.7 No.1 1998 pp.73-82
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리모트 수소 플라즈마를 이용한 Si 표면 위의 Fe 불순물 제거
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.8 No.8 1998 pp.751-756
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[Kisti 연계] 대한전자공학회 電子工學會論文誌. Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics. D Vol.d35 No.10 1998 pp.67-75
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급속열처리에 의한 MOCVD-Cu/TiN/Si 구조의 후열처리 특성
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.6 No.1 1997 pp.28-35
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고선택비 산화막 식각공정시 실리콘 표면에 형성된 잔류막 제거와 후속 실리사이드 형성에 미치는 영향에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1997 p.105
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$C_4F_8/H_2$ 헬리콘 플라즈마를 이용한 고선택비 산화막 식각공정시 실리콘 표면의 오염 및 손상에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1997 pp.213-214
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DMEAA를 사용하여 CVD법으로 증착한 Al 박막의 증착속도에 대한 수소 효과
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1997 p.24
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ECR CVD 방법에 의해 증착된 저유전율 SiOF 박막특성
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 1996 pp.386-388
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Bull's eye effects 를 줄이기 위한 CMP system의 최적화 설계에 관한 연구
[Kisti 연계] 대한전자공학회 電子工學會論文誌. Jounnal of the Korea institute of telematics and electronics. A. A Vol.a33 No.12 1996 pp.72-76
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DMEAA 소스로 기상화학 증착된 알루미늄 박막의 증착특성
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.6 No.3 1996 pp.333-340
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