[Kisti 연계] 한국원자력산업회의 원자력산업 Vol.21 No.9 2001 pp.4-7
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[Kisti 연계] 한국결정성장학회 한국결정성장학회지 Vol.7 No.2 1997 pp.207-215
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ECR PECVD법으로 제조한 고접적 메모리 소자 charge storage capacitor용 PLZT 박막의 전기적 특성
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1996 p.69
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MBE 방법으로 증착된 $Si_{1-x}Ge_x$ 박막의 응력완화
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1996 p.30
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ECR 플라즈마를 이용한 Cu 박막의 건식 식각특성에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1995 p.30
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Electrical properties of ECR-PECVD $Ta_{2}O_{5}$ thin film heat-treated in $O_2$ and $N_2$
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1994 p.88
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$YBa_2Cu_3O_{7-x}$ 결정입계 접합을 이용한 마이크로파 감지소자
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.4 No.6 1994 pp.681-686
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MOCVD 법에 의한 Al 박막의 증착 속도 및 증착 두께 분포
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1994 p.183
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TIBA 와 DMEAA로 증착된 Al 박막의 증착특성 비교
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1994 p.188
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플라즈마 화학증착법, 이온 플레이팅법 및 반응성 스퍼터링법에 의해 증착된 TiN 박막의 특성 비교 연구
[Kisti 연계] 한국세라믹학회 한국세라믹학회지 Vol.31 No.7 1994 pp.731-738
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TiN Barrier Layer 위에 금속유기화학증착법에 의해 제조된 구리박막의 증착특성에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1993 p.89
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[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.3 No.5 1993 pp.451-458
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[Kisti 연계] 한국방위산업진흥회 국방과 기술 Vol.1993 No.10 1993 pp.10-13
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The Study on Electrochemical Properties of PACVD-TiN Coated on Inconel 600
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1993 p.22
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TiN glue layer위에 증탁되는 $SiN_4$ 환원 Blanket 텅스텐의 증착온도가 계면성질에 미치는 영향
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1993 p.86
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ECR-PECVD방법으로 중착된 탄탈릅 산화박막의 전기적 성질에 미치는 증착변수의 영향
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1993 p.116
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플라즈마 화학증착한 aluminum oxide의 reactive ion etching 특성
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1992 p.32
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TiW Giue Layer 위에 화학증착된 텅스텐 박막에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1992 p.70
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