간행물 정보
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- 제공처
- 한국과학기술정보연구원
- 발행기관
- 한국반도체및디스플레이장비학회
- 수록기간
- 2002 ~ 2022
- 주제분류
- 공학 > 전기공학
Vol.6 No.3 (11건)
화학-기계적 연마 공정의 물질제거 메커니즘 해석 Part II: 동적 시뮬레이션
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.6 No.3 2007 pp.1-6
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.6 No.3 2007 pp.7-11
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
NiSi와 $NiSi_2$에 대한 Co 치환의 영향: ab initio 계산
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.6 No.3 2007 pp.13-17
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Plasma Assisted ALD 장비를 이용한 니켈 박막 증착과 Ti 캡핑 레이어에 의한 니켈 실리사이드 형성 효과
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.6 No.3 2007 pp.19-23
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ZEP520 포토리지스트를 이용한 나노 패턴 형성을 위한 전자빔 리소그래피 공정 모델링 및 시뮬레이션
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.6 No.3 2007 pp.25-33
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Al-doped ZnO 투명 전도성 박막(TCO)의 전기적 광학적 특성
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.6 No.3 2007 pp.35-39
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증착 및 열처리온도에 따른 SCT 박막의 구조적인 특성
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.6 No.3 2007 pp.41-45
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극히 얕은 $N^+$-P 실리콘 접합에서의 어발런치 현상
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.6 No.3 2007 pp.47-53
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Contourlet 변환을 이용한 새로운 압축방법에 대한 연구
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.6 No.3 2007 pp.55-59
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평면 광스플리터와 리본형 광파이버의 정밀 결합을 위한 V-groove연결소자의 제작
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.6 No.3 2007 pp.61-64
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[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.6 No.3 2007 pp.65-70
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.