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Vol.3 No.2 (8건)

개선형 ISPM에서 공기역학적 렌즈의 최적조건에 대한 실험적 연구

임효재, 차옥환, 설용태

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.3 No.2 2004 pp.1-4

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협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.

Focused Ion Beam을 이용한 EUVL Mask Defect Isolation 및 Repair

김석구, 백운규, 박재근

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.3 No.2 2004 pp.5-9

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반도체 장비 부품의 Ti/TiN 흡착물 세정 공정 연구

유정주, 배규식

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.3 No.2 2004 pp.11-15

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RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 Si 기판상의 AlN 박막의 제조

조찬섭, 김형표

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.3 No.2 2004 pp.17-21

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단축 인장에 의한 SU-8박막의 기계적 물성 측정

백동천, 박태상, 이순복, 이낙규

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.3 No.2 2004 pp.23-26

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마이크로 부품의 물성 및 신뢰성 평가를 위한 시험기 개발

이낙규, 최석우, 임성주, 최태훈, 이형욱, 나경환

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.3 No.2 2004 pp.27-33

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무잔류 응력상태 결정을 통한 표면 잔류응력장 평가에의 레이저 간섭계 적용

김동원, 이낙규, 나경환, 권동일

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.3 No.2 2004 pp.35-40

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Error Compensation of Laser Interferometer for Measuring Displacement Using the Kalman Filter

Park, Tong-Jin, Lee, Yong-Woo, Wang, Young-Yong, Han, Chang-Soo, Lee, Nak-Ku, Lee, Hyung-Wok, Choi, Tae-Hoon, Na, Kyung-Whan

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.3 No.2 2004 pp.41-46

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