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Vol.2 No.2 (7건)

Rotating Compensator Spectroscopic Ellipsometer의 개발 및 응용

이재호, 방경윤, 박준택, 오혜근, 안일신

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.2 No.2 2003 pp.1-4

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협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.

PAALD 방법을 이용한 TaN 박막의 구리확산방지막 특성

부성은, 정우철, 배남진, 권용범, 박세종, 이정희

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.2 No.2 2003 pp.5-8

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12" 웨이퍼 Spin etcher용 실시간 박막두께 측정장치의 개발

김노유, 서학석

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.2 No.2 2003 pp.9-15

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초고속 소자를 위한 Junction Technology 연구

이준하, 이흥주, 문원하

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.2 No.2 2003 pp.17-20

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반도체 Package용 Seam Seal Welding System 개발

이우영, 진경복, 오장환, 김경수

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.2 No.2 2003 pp.21-24

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반도체 초정밀장비의 진동허용규제치를 고려한 지지구조의 동특성 개선에 관한 연구

손성완, 이홍기, 백재호

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.2 No.2 2003 pp.25-30

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재료의 기계적 물성측정 시험장치를 위한 이중서보 시스템에 관한 연구

최현석, 송치우, 한창수, 이형욱, 최태훈, 이낙규, 나경환

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.2 No.2 2003 pp.31-37

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