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Vol.2 No.4 (8건)

논리결함 검사를 위한 Pattern Generator의 PLD 회로 설계

김준식, 노영동

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.2 No.4 2003 pp.1-7

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협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.

플라즈마 챔버의 특성 분석 및 최적 설계를 위한 가상의 시뮬레이션 환경 개발

김헌창, 설용태

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.2 No.4 2003 pp.9-12

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협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.

RF 정합 특성 개선을 위한 챔버의 임피던스 측정법

설용태, 이의용, 박성진

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.2 No.4 2003 pp.13-17

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압력센서용 다이아프램 제작을 위한 TMAH/AP 식각특성

윤의중, 김좌연

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.2 No.4 2003 pp.19-22

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Ellipsometry에서의 Calibration 및 입사면 고정형 Ellipsometer

경재선, 오혜근, 안일신, 김옥경

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.2 No.4 2003 pp.23-26

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스크린 프린팅법을 이용하여 제조된 고분자 전해질 연료전지에서 MEA(조합 막 전극)의 특성

임재욱, 최대규, 류호진

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.2 No.4 2003 pp.27-30

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열교환 부품용 발열체 형성기술

조남인, 김민철

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.2 No.4 2003 pp.31-35

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멤브레인 구조 제작은 위한 단결정 실리콘의 이방성 습식 식각

조남인, 강창민

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.2 No.4 2003 pp.37-40

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