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Vol.2 No.3 (7건)

전리수를 이용한 반도체 세정 공정

류근걸, 김우혁, 이윤배, 이종권

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.2 No.3 2003 pp.1-6

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협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.

Multi-pole Inductively Coupled Plasma(MICP)를 이용한 Via Contact 및 Deep Contact Etch 특성 연구

설여송, 김종천

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.2 No.3 2003 pp.7-11

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반도체 장비의 원격 모니터링을 위한 임베디드 웹 서버

윤한경, 임성락

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.2 No.3 2003 pp.13-18

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Role of Magnetic Field Configuration in a Performance of Extended Magnetron Sputtering System with a Cylindrical Cathode

Chun, Hui-Gon, Sochugov, Nikolay S., You, Yong-Zoo, Soloviv, Andrew A., Zakharov, Alexander N,

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.2 No.3 2003 pp.19-23

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반도체 제조 장비용 저 전압 DSP칩을 이용한 서보 모터의 벡터제어에 관한 연구

홍선기, 방승현, 최치영

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.2 No.3 2003 pp.25-30

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Wafer 반송용 End-Effector의 FEM 해석 및 파지력 제어에 관한 연구

권오진, 최성주, 이우영, 이강원, 박원규

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.2 No.3 2003 pp.31-36

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나노 측정시스템을 위한 방진 구조물의 동적 설계에 관한 연구

전종균, 김강부, 백재호

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.2 No.3 2003 pp.37-43

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