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반도체디스플레이기술학회지

간행물 정보

Vol.1 No.1 (9건)

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협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.

폴리이미드형 8인치 정전기척의 제조

조남인, 박순규, 설용태

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.1 No.1 2002 pp.9-13

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몰딩공정을 응용한 플립칩 언더필 연구

한세진, 정철화, 차재원, 서화일, 김광선

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.1 No.1 2002 pp.29-33

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자화된 플라즈마 내에서의 단분산 입자의 하전량 특정

한장식, 안강호, 김곤호

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.1 No.1 2002 pp.35-40

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고진공 터보분자 펌프의 설계 및 해석기술

이우영, 국정한, 박종권, 구본학

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.1 No.1 2002 pp.41-45

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리소그라피의 최신기술동향

안진호

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.1 No.1 2002 pp.47-56

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PFC 대체가스 에칭기술

나까무라모리타가

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.1 No.1 2002 pp.57-63

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