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TSV 기반 3차원 소자의 열적-기계적 신뢰성

윤태식, 김택수

[Kisti 연계] 한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징 학회지 Vol.24 No.1 2017 pp.35-43

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온칩 테스트 로직을 이용한 TSV 결함 검출 방법

안진호

[Kisti 연계] 대한전기학회 電氣學會論文誌 Vol.63 No.12 2014 pp.1710-1715

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3D IC 열관리를 위한 TSV Liquid Cooling System

박만석, 김성동, 김사라은경

[Kisti 연계] 한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징 학회지 Vol.20 No.3 2013 pp.1-6

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딥러닝 기반의 TSV Hole TCD 계측 방법

정준희, 구창모, 조중휘

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.20 No.2 2021 pp.103-108

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Wafer 레벨에서의 위치에 따른 TSV의 Cu 충전거동

이순재, 장영주, 이준형, 정재필

[Kisti 연계] 한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징 학회지 Vol.21 No.4 2014 pp.91-96

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