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반도체 장비상태 모니터링을 위한 SCADA 시스템 구현

이윤지, 윤학재, 박효은, 홍상진

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.18 No.4 2019 pp.92-95

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사물인터넷을 이용한 반도체 장비 통신 프로토콜 모델

김두용, 김기완

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.18 No.4 2019 pp.40-45

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반도체 장비의 원격 모니터링을 위한 임베디드 웹 서버

윤한경, 임성락

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.2 No.3 2003 pp.13-18

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