earticle

실시간 분광 엘립소매트터를 이용한 a-Si박막의 crystallization 현상 연구

오영록, 최은호, 이기용, 방경윤, 안일신, 김옥경

한양대학교 이학기술연구소 이학기술연구지 제7집 2004.12 pp.29-34

염소를 포함한 액체에서의 금박막 패터닝과 표면 분석

성덕경, 최정욱, 안일신, 김옥경

한양대학교 이학기술연구소 이학기술연구지 제7집 2004.12 pp.35-40

분광 엘립소미트리를 이용한 유리기판 위의 박막 분석

성덕경, 방경윤, 오영록, 최은호, 안일신, 김옥경

한양대학교 이학기술연구소 이학기술연구지 제6집 2003.12 pp.71-75

복합적인 레지스트 패턴 붕괴현상의 역학적 해석

이형주, 박준택, 안일신, 김옥경, 오혜근

한양대학교 이학기술연구소 이학기술연구지 제6집 2003.12 pp.83-88

Spectroscopic Elliposometry Study of the Composition of Cobalt-SiO Thin Film

이재호, 안일신

한양대학교 이학기술연구소 이학기술연구지 제4집 2002.01 pp.27-30

Adsorption of Water Molecules on stainless Steel surface Using Null Ellipsometry

이재호, 안일신, 남현수

한양대학교 이학기술연구소 이학기술연구지 제3집 2001.02 pp.31-35

Alignment of Zero-Order Retardation Plate for Spectroscopic Ellipsometry

이용달, 박명규, 김세덕, 방경윤, 안일신

한양대학교 이학기술연구소 이학기술연구지 제2집 2000.12 pp.65-69

Use of Array Detector for Real-time Spectroscopic Ellipometer

안일신, 김세덕

한양대학교 이학기술연구소 이학기술연구지 제1집 1999.12 pp.41-44

양성 감광제에서 여러 가지 나노 / 마이크로구조 제작을 위한 시뮬레이션

김상곤, 오혜근, 정영대, 안일신

[Kisti 연계] 한국광학회 한국광학회 학술대회논문집 2009 pp.58-59

Ellipsometry를 이용한 193 nm photoresist에서의 물의 흡수 연구

이형주, 이정환, 서주빈, 경재선, 안일신

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2006 pp.172-176

Ellipsometry를 이용한 193 nm photoresist에서의 물의 흡수 연구

이형주, 이정환, 서주빈, 경재선, 안일신

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.5 No.2 2006 pp.37-39

Eximer laser를 이용한 a-Si박막의 결정화 현상 연구

경재선, 조종규, 천혁녕, 서민수, 안일신

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2006 p.177

Imaging Ellipsometer를 이용한 비결정질 실리콘의 결정화 연구

천혁녕, 조종규, 이정환, 임주상, 이상육, 서민수, 박흥진, 안일신

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2006 p.159

실시간 분광 Ellisometer를 이용한 a-Si 박막의 결정화 현상 연구

이기용, 조종규, 오영록, 경윤, 안일신

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2005 p.110

타원편광분석 기술의 끝없는 변모

안일신

[Kisti 연계] 대한기계학회 기계저널 Vol.45 No.3 2005 pp.56-60

Mueller Matrix Ellipsometry 제작 및 응용

방경윤, 경재선, 오혜근, 김옥경, 안일신

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.3 No.1 2004 pp.31-34

펜타신 박막의 두께와 특성 변화

한창민, 김재호, 전동렬, 방경윤, 안일신

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2004 p.171

Retardance Measurements Using Rotating Sample and Compensator Spectroscopic Ellipsometry

경재선, 방경윤, 오혜근, 안일신

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2004 pp.169-173

Ellipsometry에서의 Calibration 및 입사면 고정형 Ellipsometer

경재선, 오혜근, 안일신, 김옥경

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.2 No.4 2003 pp.23-26

Ellipsometry 에서의 calibration 및 입사면 고정형 ellipsometer

경재선, 방경윤, 최은호, 손영수, 안일신, 오혜근

[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회논문집 2003 pp.18-22