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실시간 분광 엘립소매트터를 이용한 a-Si박막의 crystallization 현상 연구

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Study of crystallization of amorphous silicon in electric field using real-time ellipsometer

오영록, 최은호, 이기용, 방경윤, 안일신, 김옥경

한양대학교 이학기술연구소 이학기술연구지 제7집 2004.12 pp.29-34
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목차

요지
 Abstract
 1. 서론
 2. 이론
 3. 실험
 4. 결과
 5. 결론
 참고문헌

저자정보

  • 오영록 Young-Rok Oh. 한양대학교 응용물리학과
  • 최은호 Eunho Choi. 한양대학교 응용물리학과
  • 이기용 Ki-Young Lee. 한양대학교 응용물리학과
  • 방경윤 Kyoung-yoon Bang. 한양대학교 응용물리학과
  • 안일신 Ilsin An. 한양대학교 응용물리학과
  • 김옥경 Ok Kyoung Kim. 한양대학교 응용물리학과

참고문헌

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