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염소를 포함한 액체에서의 금박막 패터닝과 표면 분석

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Surface Analysis and Patterning of thin gold film in chlorine based liquid

성덕경, 최정욱, 안일신, 김옥경

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목차

요지
 Abstract
 1. 서론
 2. 실험
 3. 결과 및 토의
  3.1 식각 연구
  3.2 식각 유효 파장
  3.3 식각률 측정
  3.4 표면 변화
 4. 결론
 참고문헌

저자정보

  • 성덕경 Deok-Kyeong Seong. 한양대학교 응용물리학과
  • 최정욱 Jung-Wook Choi. 한양대학교 응용물리학과
  • 안일신 Ilsin An. 한양대학교 응용물리학과
  • 김옥경 Ok-Kyung Kim. 한양대학교 응용물리학과

참고문헌

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