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분광 엘립소미트리를 이용한 유리기판 위의 박막 분석

원문정보

Analysis of Thin Film on Glass using Rotating Compensator Spectroscopic Ellipsometry

성덕경, 방경윤, 오영록, 최은호, 안일신, 김옥경

한양대학교 이학기술연구소 이학기술연구지 제6집 2003.12 pp.71-75
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목차

요지
 Abstract
 1. 서론
 2. 이론
 3. 실험
 4. 결과
 5. 결론
 참고문헌

저자정보

  • 성덕경 Deok-Kyeong Seong. 한양대학교 응용물리학과
  • 방경윤 Kyoung-Yoon Bang. 한양대학교 응용물리학과
  • 오영록 Young-rok Oh. 한양대학교 응용물리학과
  • 최은호 Eunho Choi. 한양대학교 응용물리학과
  • 안일신 Ilsin An. 한양대학교 응용물리학과
  • 김옥경 Ok-kyung Kim. 한양대학교 응용물리학과

참고문헌

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