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Spectroscopic Elliposometry Study of the Composition of Cobalt-SiO Thin Film

원문정보

Cobalt-SiO 혼합물 박막에 대한 분광 Ellipsometry 연구

이재호, 안일신

한양대학교 이학기술연구소 이학기술연구지 제4집 2002.01 pp.27-30
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목차

Abstract
 요지
 1. Introduction
 2. Experimental
 3. Result and Discussion
 4. Conclusion
 References

저자정보

  • 이재호 Jaeho Lee. 한양대학교 이과대학 물리학과
  • 안일신 Ilsin An. 한양대학교 이과대학 물리학과

참고문헌

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