식각시간 및 식각전류에 따른 다공성 실리콘의 발광 특성에 대한 조사
조선대학교 기초과학연구원 통합자연과학논문집(구 조선자연과학논문집) 제3권 3호 2010.09 pp.148-152
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식각액(Wet Etchant)제조공정의 품질향상을 위한 강건설계에 대한 연구
대한안전경영과학회 대한안전경영과학회지 제14권 제1호 2012.03 pp.155-165
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습식 식각 공정을 이용하여 제작된 광양자테 소자의 특성 분석
중소기업융합학회 융합정보논문지(구 중소기업융합학회논문지) 제10권 제6호 2020.06 pp.28-34
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반도체 미세 패턴 식각을 위한 EPD 시스템 개발 및 연구
대한안전경영과학회 대한안전경영과학회지 제17권 제3호 2015.09 pp.355-362
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페로브스카이트 반도체 물질에 원형 패턴을 형성하기 위한 상압플라즈마 식각 기술
중소기업융합학회 융합정보논문지(구 중소기업융합학회논문지) 제11권 제2호 2021.02 pp.10-15
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F-RPN(Failure-RPN)을 이용한 장비 고장률 개선 연구 : 반도체 식각 공정을 중심으로
대한안전경영과학회 대한안전경영과학회지 제23권 제3호 2021.09 pp.27-33
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Effect of RF Powers and O2 Flow Rates on Etch Rate of SiO2 with Reactive Ion Etching System
국제차세대융합기술학회 차세대융합기술학회논문지 제8권 10호 2024.10 pp.2078-2084
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반응성 플라즈마를 이용한 금속코발트의 표면 식각 반응 연구
한국방사성폐기물학회 한국방사성폐기물학회 학술논문요약집 vol. 5 no. 2 2007.11 pp.41-42
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NF3 플라즈마를 이용한 인코넬 모재 위 코발트 산화막의 식각반응 연구
한국방사성폐기물학회 한국방사성폐기물학회 학술논문요약집 Vol.9 No.1 2011.05 pp.283-284
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금속방사성폐기물 제염공정 개발을 위한 NF3 플라즈마의 코발트 산화막 식각 반응
한국방사성폐기물학회 한국방사성폐기물학회 학술논문요약집 Vol.10 No.1 2012.05 pp.267-268
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A Study on Plasma Etching Reaction of Cobalt for Metallic Surface Decontamination
한국방사성폐기물학회 방사성폐기물학회지 Volume 6 Number 1 2008.03 pp.17-23
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중성빔 식각과 중성빔 원자층 식각기술을 이용한 TiN/HfO2 layer gate stack structure의 저 손상 식각공정 개발
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.406
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[Kisti 연계] 한국소성가공학회 한국소성가공학회 학술대회논문집 2004 pp.245-249
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식각액에 따른 용융실리카의 레이저 습식 식각 특성 비교 연구
[Kisti 연계] 한국소성가공학회 소성가공 Vol.13 No.3 2004 pp.268-272
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