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Rugate 광결정에서 광학띠와 식각전류의 상관관계

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Intercorrelation between Photonic Band and Etch Current on Rugate Photonic Crystals

박종선, 김용민

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초록

영어

Multiple rugate structures can be etched on a silicon wafer and placed in the same physical location, showing that many sharp spectral lines can be obtained in the optical reflectivity spectrum. Porous silicon samples were prepared by electrochemical etch of heavily doped p-type silicon wafers. The etching solution consisted of a 3:1 volume mixture of aqueous 48% hydrofluoric acid and absolute ethanol. Galvanostatic etch was carried out in a Teflon cell by using a twoelectrode configuration with a Pt mesh counterelectrode. A sinusoidal current density waveform varying between 51.5 and 74.6 mA/cm2 is applied. The anodization current was supplied by a Keithley 2420 high-precision constant current source which is controlled by a computer to allow the formation of PSi multilayer.

목차

Abstract
 1. 서론
 2. 실험
  2.1. Rugate 다공성 실리콘의 합성
  2.2. 측정기기
 3. 결과 및 고찰
  3.1. Rugate 다공성 실리콘 제작 원리
  3.2. 센터 값 (Ai,center)의 변화에 따른 rugate 다공성 실리콘 reflcetivity의 변위
 4. 결론
 참고문헌

저자정보

  • 박종선 Jongsun Park. 단국대학교 응용물리학과
  • 김용민 Yongmin Kim. 단국대학교 응용물리학과

참고문헌

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