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다결정 실리콘의 선택적 성장을 이용한 깊은 트랜치 격리기술

박찬우, 김상훈, 현영철, 이승윤, 심규환, 강진영

[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.11 No.4 2002 pp.235-239

HF 세정후 자연 산화막의 존재가 티타늄 실리사이드 형성에 미치는 영향

배종욱, 현영철, 유현규, 이정용, 남기수

[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.8 No.5 1998 pp.464-469

Al(Si, Cu)합금막의 플라즈마 식각후 표면 특성

구진근, 김창일, 박형호, 권광호, 현영철, 서경수, 남기수

[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 전기전자재료 Vol.9 No.3 1996 pp.291-297

고저항 실리콘 기판을 이용한 마이크로 웨이브 인덕터의 제작

박민, 현영철, 김천수, 유현규, 구진근, 남기수, 이성현

[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 1996 pp.291-294

비정질/다결정 실리콘 박막 저항의 열처리에 따른 특성

현영철, 김기홍, 박민, 박종문, 구진근

[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1995 pp.27-28

새로운 Pillar 제조 기법과 SOG etchback 평탄화 기법을 이용한 다층 배선기술

김기홍, 박민, 박종문, 현영철, 구진근

[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1995 pp.45-46

G선 스테퍼를 이용한 형상반전공정의 감광막 형상 특성

박종문, 박민, 현영철, 김기홍, 구진근, 남기수

[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1995 pp.54-55

아르곤 스퍼터링 방법을 이용한 PECVD 실리콘 산화막의 특성 향상

박민, 박종문, 현영철, 구진근

[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1995 pp.52-53

반도체 공정 가스에 따른 가스의 초고순도화

진영모, 현영철

[Kisti 연계] 한국전자통신연구원 전자통신동향분석 Vol.3 No.2 1988 pp.56-60