다층 RIE Electodes를 이용한 아크릴의 $O_2/N_2$ Plasma Etching
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2007 p.32
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$O_2/N_2$ 플라즈마를 이용한 아크닐의 건식 식각 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2007 p.90
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$O_2/SF_6$ 플라즈마를 이용한 Poly Ethylene Terephthalate(PET)의 건식 식각에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2007 p.35
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[Kisti 연계] 대한전자공학회 電子工學會誌 Vol.34 No.7 2007 pp.28-43
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F-based 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs 와 InGaP 반도체의 건식식각에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2005 p.55
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평판형 유도결합 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs 및 GaAs/InGaP 의 선택적 및 비선택적 건식식각의 비교
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2005 p.73
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평판형 유도결합 $BCL_3/CF_4$ 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs 선택적 건식
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2005 p.54
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Advanced Dry Etching of GaAs in High-Density Planar Inductively Coupled BCl3 Plasmas
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2003 p.117
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Resonant Photoemission Study of TiF3
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 1997 pp.158-159
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