O2/SF6/CH4 플라즈마를 이용한 플렉시블 Polycarbonate와 PMMA의 건식 식각
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.18 No.2 2009 pp.85-91
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저진공 축전결합형 SF6, SF6/O2, SF6/CH4 플라즈마를 이용한 아크릴의 반응성 건식 식각
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.19 No.2 2009 pp.68-72
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저진공 축전 결합형 BCl3/N2 플라즈마를 이용한 GaAs의 건식 식각
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.19 No.3 2009 pp.132-136
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확산펌프 기반의 O2 축전결합 플라즈마를 이용한 PMMA와 폴리카보네이트의 건식 식각
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.19 No.8 2009 pp.421-426
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MEDICI와 SUPREM4를 이용한 폴리 실리콘 게이트의 벽면 기울기에 따른 NMOS 소자의 전기적 특성 분석
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2009 p.20
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축전 결합형 $O_2$ 플라즈마를 이용한 아크릴과 폴리카보네이트의 식각 공정 비교
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2009 p.39
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확산펌프 기반의 BCl<SUB>3</SUB> 축전결합 플라즈마를 이용한 GaAs와 AlGaAs의 건식 식각
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.18 No.4 2009 pp.288-295
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상보형 신호경로 방식의 CMOS 이미지센서 픽셀 모델링 및 HSPICE 해석
[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.17 No.1 2008 pp.41-52
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$O_2$/$SF_6$/$CH_4$ 플라즈마를 이용한 Acrylic의 건식 식각
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2008 p.29
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축전결합 $CF_4$/$O_2$/$A_r$ 플라즈마에 의한 Polymethyl methacrylate (PMMA)와 Polycarbonate건식식각 비교
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2008 p.30
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O2/SF6, O2/N2와 O2/CH4 플라즈마를 이용한 폴리카보네이트 건식 식각
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.17 No.1 2008 pp.16-22
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$SF_6$/$O_2$/$CH_4$ 플라즈마를 이용한 플렉시블 폴리머의 반응성 이온 식각에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2008 p.29
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[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.16 No.6 2007 pp.475-483
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기계적 펌프 기반의 축전 결합형 $BCl_3/N_2$와 $Cl_2/N_2$ 플라즈마를 이용한 GaAs의 건식식각 비교
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2007 p.67
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Understanding of my etching of polycarbonate based on $O_2$ plasmas
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2007 p.99
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공기 플라즈마를 이용한 폴리카보네이트의 RIE 건식 식각
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2007 p.92
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평판형 유도결합 $BCL_3/CF_4$ 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs 선택적 건식
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2005 p.54
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평판형 유도결합 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs 및 GaAs/InGaP 의 선택적 및 비선택적 건식식각의 비교
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2005 p.73
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