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냉음극 변압기 플라즈마와 TEOS 소스를 이용한 $SiO_2$ 박막 증착
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2012 p.164
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저진공 펄스 직류 전원 BCl3 플라즈마의 전기적 특성과 GaAs의 식각 특성 분석
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.137
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펄스 직류 $CF_4$/ Ar 플라즈마 발생 장치의 전기적 특성 평가
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2011 p.236
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펄스 직류 전원 $BCl_3$/He 플라즈마를 이용한 GaAs 건식 식각
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.159
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Pulse DC $O_2$ 플라즈마를 이용한 PMMA와 폴리카보네이트 기판의 건식 식각
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.105
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$CF_4$/Ar를 이용한 유기고분자 기판의 펄스 직류전원 건식 식각
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2010 p.91
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축전 결합형 $O_2$ 플라즈마를 이용한 아크릴과 폴리카보네이트의 식각 공정 비교
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2009 p.39
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광학 박막을 채용한 CMOS 이미지 센서 픽셀의 수광 효율
[Kisti 연계] 한국광학회 한국광학회지 Vol.20 No.1 2009 pp.57-60
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확산펌프 기반의 BCl<SUB>3</SUB> 축전결합 플라즈마를 이용한 GaAs와 AlGaAs의 건식 식각
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.18 No.4 2009 pp.288-295
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$O_2$/$SF_6$/$CH_4$ 플라즈마를 이용한 Acrylic의 건식 식각
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2008 p.29
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O2/SF6, O2/N2와 O2/CH4 플라즈마를 이용한 폴리카보네이트 건식 식각
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.17 No.1 2008 pp.16-22
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기계적 펌프 기반의 축전 결합형 $BCl_3$/$N_2$ 플라즈마를 이용한 GaAs의 건식 식각
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2008 p.21
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다층 RIE Electrode를 이용한 아크릴의 O2/N2 플라즈마 건식 식각
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회지 Vol.17 No.12 2007 pp.642-647
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기계적 펌프 기반의 축전 결합형 $BCl_3/N_2$와 $Cl_2/N_2$ 플라즈마를 이용한 GaAs의 건식식각 비교
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2007 p.67
협약을 통해 무료로 제공되는 자료로, 원문이용 방식은 연계기관의 정책을 따르고 있습니다.
Temperature dependence of photoluminescence of InAs quantum dots with InxGal-xAs overgrowth layer.
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2007 p.59
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Understanding of my etching of polycarbonate based on $O_2$ plasmas
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2007 p.99
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물 묻은 지문을 인식하기 위한 프리즘 광학계의 설계 및 실험적 고찰
[Kisti 연계] 한국광학회 한국광학회지 Vol.18 No.6 2007 pp.395-400
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공기 플라즈마를 이용한 폴리카보네이트의 RIE 건식 식각
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2007 p.92
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