[Kisti 연계] 대한전자공학회 電子工學會誌 Vol.34 No.7 2007 pp.28-43
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반도체 제조공정에서 wafer의 warpage가 노광공정에 미치는 영향성
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 2007 p.68
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100nm급 이하 소자에서 Deep Small Contact Hole Etching시 선택비와 RIE-lag 에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회 학술대회논문집 2002 pp.172-173
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[Kisti 연계] 한국정밀공학회 한국정밀공학회 학술대회논문집 2001 pp.263-266
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SUB-QUART LITHIOGRAPHY에서 실리콘이 확산된 RESIST 표면의 FT-IR 분석
[Kisti 연계] 한국재료학회 한국재료학회 학술대회논문집 1992 pp.68-69
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