병렬 플라즈마 소스를 이용한 마이크로 LED 소자 제작용 GaN 식각 공정 시스템 개발
[Kisti 연계] 한국반도체및디스플레이장비학회 반도체디스플레이기술학회지 Vol.20 No.3 2021 pp.32-38
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[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.22 No.2 2013 p.174
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[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.22 No.2 2013 pp.130-135
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[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.22 No.1 2013 pp.89-94
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연요철(Anti-Glare) 구조의 표면 유리 기판을 가지는 고효율 태양전지 모듈
[Kisti 연계] 한국진공학회 한국진공학회지 Vol.20 No.3 2011 pp.233-241
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RIE 공정 조건에 의한 피라미드 구조의 블랙 실리콘 형성
[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.20 No.3 2011 pp.207-212
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Micro blaster를 이용한 태양전지용 재생웨이퍼의 표면 개선에 관한 연구
[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.19 No.4 2010 pp.291-296
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a-SiOx Buffer Layer 삽입을 통한 고효율 비정질 실리콘 박막태양전지에 관한 및 연구
[Kisti 연계] 한국신재생에너지학회 한국신재생에너지학회 학술대회논문집 2009 p.386
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[Kisti 연계] 한국센서학회 Journal of sensor science and technology Vol.14 No.3 2005 pp.206-210
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알루미나를 매몰절연막으로 사용한 Silicon On Insulator
[Kisti 연계] 한국전기전자재료학회 한국전기전자재료학회 학술대회논문집 2003 pp.130-132
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